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| - HOLE 속을 전도성 카본으로 흡착시키는 공정의 설비임 |
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- TOUCH SCREEN을 통한 입 · 출력 자동 관리 기능
- 설비 에러 이력 관리 자동 기능 |
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| 처리기판 두께 |
Core 0.05 ~ 2.0t |
표준속도 |
2.0 M/miN |
| 최대기판(mm) |
510 * 610 |
장비속도 |
0.5 ~ 4.0 M/min |
| 최소기판(mm) |
250 * 250 |
HOLE SIZE |
Min 0.15 mm | |
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- 투입 → SOFT ETCHING → 수세 → CLEANER → 수세 → BLACK HOLE #1 → 에어컷 → CONDITIONER → 수세 →
BLACK HOLE #2 → 건조 → 수세 → MICRO ETCHING → 수세 → 건조 → 배출 |
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- BLACK HOLE 자동 공급 장치 (청소용 탱크)
- MICRO ETCHING 자동 공급 장치 (황산 · 과수 · 안정제 탱크, 계량 탱크 시스템) |
