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BLACK HOLE LINE
 
- HOLE 속을 전도성 카본으로 흡착시키는 공정의 설비임
- TOUCH SCREEN을 통한 입 · 출력 자동 관리 기능
- 설비 에러 이력 관리 자동 기능
처리기판 두께 Core 0.05 ~ 2.0t 표준속도 2.0 M/miN
최대기판(mm) 510 * 610 장비속도 0.5 ~ 4.0 M/min
최소기판(mm) 250 * 250 HOLE SIZE Min 0.15 mm
- 투입 → SOFT ETCHING → 수세 → CLEANER → 수세 → BLACK HOLE #1 → 에어컷 → CONDITIONER → 수세 →
   BLACK HOLE #2 → 건조 → 수세 → MICRO ETCHING → 수세 → 건조 → 배출
- BLACK HOLE 자동 공급 장치 (청소용 탱크)
- MICRO ETCHING 자동 공급 장치 (황산 · 과수 · 안정제 탱크, 계량 탱크 시스템)